Canatu - Ekspert i kulstofnanorørsfilm

Micron (producent af DRAM-hukommelse) har i årene 2025-2026 taget den første produktionslinje i brug, hvor der anvendes EUV i stedet for den tidligere DUV (‘1-gamma produktionslinje’). Baseret på offentlige kilder anvendes der ASML NXE:3800D- og E-maskiner, det vil sige 500W eller mindre. Med disse kan man stadig klare sig uden pellicles (beskyttelsesfilm).

Gemini:

  • Hvor bruges det? EUV-udstyr er først taget i brug på Hiroshima-fabrikken i Japan. I løbet af 2025 og 2026 er Micron begyndt at levere de første DDR5- og LPDDR5X-hukommelser baseret på 1-gamma-processen til sine kunder.
  • Hvorfor EUV? Det gør det muligt at bygge en betydeligt tættere og mere energieffektiv hukommelsescelle med en enkelt eksponering sammenlignet med traditionel multi-eksponering DUV-teknologi. Ifølge Micron forbedrer 1-gamma-noden bittætheden med over 30 % og reducerer strømforbruget med op til 20 % sammenlignet med den tidligere generation.

I en video fra et par år siden tales der efter 17 minutter om brugen af EUV-pellicles. I videoen gennemgås fordele og ulemper ved disse. Interessant nok tales der omkring 19:15 om:

“Maybe by the time when the industry gets into CNT pellicles it could tilt the scale more favorly”.
link:

En med-debattør gjorde en interessant observation om Micron og deres jobopslag hos Mask Technology Center (MTC). Baseret på jobopslaget har Micron identificeret et ‘industry inflection point’ (vendepunkt i branchen) i forbindelse med indførelsen af EUV-pellicles på hukommelsessiden. Dette kan muligvis også være relateret til produktion med High NA EUV-litografi på et tidspunkt i fremtiden.

link:

Efter min mening er tendensen på hukommelsessiden tydelig: Der er brug for mere effektiv hukommelse og endnu lavere strømforbrug. Overgangen fra DUV → EUV understøtter dette, og Micron er her måske en smule bagefter Samsung og SK Hynix. I deres nyeste hukommelseschips bliver en betydelig del af lagene (layers) allerede fremstillet med EUV. Fremover (3 år+) bliver det interessant at se, om det samme sker på hukommelsessiden, som man forventer vil ske hos de andre foundries (støberier), efterhånden som noderne bevæger sig mod de næste generationer.

10 Synes om

Jeg ved ikke, hvilken tråd der passer bedst til dette, men som mange af jer ved, har Hormuzstrædet stor betydning for Qatars heliumtransporter. Ofte er det olie og LNG, der trækker de største overskrifter, men hvis krisen trækker ud, kan det føre til betydelige udfordringer for halvledere.

“Intet helium, ingen halvledere” — Samsung, SK Hynix i højeste beredskab

Da de globale logistiske spændinger eskalerer i kølvandet på Iran-krisen, står Sydkoreas halvlederindustri over for forsyningsustabilitet for heliumgas, et kritisk procesmateriale. Skibe, der transporterer helium, er blevet underlagt restriktioner i Hormuzstrædet — en vigtig mellemøstlig skibsrute — hvilket forårsager forstyrrelser i hele forsyningskæden. Stemmer i industrien opfordrer til diversificering væk fra den Qatar-afhængige forsyning mod alternative kilder såsom USA og Rusland.

Ifølge kilder i branchen den 11. har store chipproducenter, herunder Samsung Electronics og SK Hynix, nøje overvåget deres indkøbssituation for heliumgas efter udbruddet af USA-Iran-konflikten i slutningen af sidste måned og udforsker strategier til at udvide systemer til genanvendelse af helium.

Helium er en industrigas, der er afgørende for fremstilling af halvledere. Inde i proceskammeret — det lukkede miljø, hvor wafer-fabrikationen finder sted — bruges helium til at rense restgasser efter hvert procestrin. Da halvlederkredsløb fremstilles på nanometerskala (nm), kræves der ultra-højrent helium med praktisk talt ingen forureninger. Branchekilder angiver, at der i disse processer anvendes helium med en renhed på op til 99,9999 % (6N-kvalitet).

Kerneproblemet er, at Sydkoreas forsyningskæde for helium til halvledere er stærkt koncentreret i en enkelt region. Ifølge de sydkoreanske toldmyndigheder (Korea Customs Service) udgjorde Sydkoreas samlede import af heliumgas sidste år 226,9 millioner dollars, hvoraf 64 % — eller 146,84 millioner dollars — stammede fra Qatar. USA er den næststørste leverandør, men med en andel på 28 % er der et betydeligt gab i forhold til Qatar. For højrent helium, der specifikt anvendes i halvlederfabrikation, anslår industrien, at Qatars andel nærmer sig 80 %, med kun marginale bidrag fra amerikanske og australske kilder.

Helium udvindes under processen med at nedkøle Qatars naturgas til under -162 °C for at producere flydende naturgas (LNG). Helium, som findes i en koncentration på 0,1–0,5 % i LNG, separeres og opsamles under denne kondenseringsproces. Det rå helium sendes derefter fra Qatar til Sydkorea, hvor det gennemgår højren raffinering til halvlederanvendelser.

Sydkoreas forsyningskæde for helium af halvlederkvalitet domineres af verdens største industrigasselskaber — Linde, Air Products og Air Liquide. Disse firmaer køber rå helium fra Qatar, overfører det til deres koreanske datterselskaber og raffinerer det til høj renhed på lokale faciliteter, før de leverer det til indenlandske chipproducenter. Blandt koreanske virksomheder er KC Industries — et datterselskab af KC — kendt for at købe helium fra japanske Iwatani og levere det til Samsung Electronics.

Da forsyningen af rå helium fra Qatar nu reelt er afskåret, er halvlederindustrien gået i nødberedskab. En talsmand fra branchen bemærkede: “Hvis de mellemøstlige mængder, der passerer gennem Hormuzstrædet, blokeres, er det ekstremt svært at finde alternative forsyninger med kort varsel.”

Industrien prioriterer USA som Qatars primære erstatning. Ræsonnementet er, at helium fra USA har en dokumenteret kvalitet og allerede delvist anvendes i fabrikkerne (fabs), hvilket gør det muligt at tage det i brug med det samme på trods af højere omkostninger. Russiske heliumproducenter overvejes angiveligt også, givet deres betydelige konkurrenceevne i volumen og prissætning — selvom det har været svært at etablere forsyningskanaler siden Ukraine-krigen.

Der er også opfordringer til proaktiv diversificering af forsyningskæden, selv hvis de mellemøstlige søruter normaliseres efter denne episode. En talsmand fra branchen udtalte: “Da heliumpriserne allerede er steget kraftigt ved flere lejligheder, bør denne krise bruges som en mulighed for at udvide nye forsyningsforbindelser med USA og Rusland for at opnå en mere stabil indkøbssituation fremover.”

https://www.hankyung.com/article/202603112644i

Ifølge rygter har Samsung og SK anskaffet sig et pusterumslager til et halvt år. Ifølge Grok sourcer Intel derimod helium fra USA. Hvad angår TSMC, har jeg ingen informationer.

16 Synes om

Det ser ud til, at der lige kom et halvt års forsinkelse på starten af Canatus ramp-up.

Jeg gætter på, at CMD blev rykket til slutningen af marts for at kunne sige, at én linje allerede er i ramp-up. Nu vil CMD-beskeden nok blive lidt mere tam.

Dette vil sandsynligvis også have en direkte effekt på den anden reaktorordre, som afventes fra den samme kunde.

19 Synes om

Markedets størrelse er bestemt ikke noget, man støder på lige foreløbig:

https://x.com/dwarkesh_sp/status/2032514120461988204?s=46&t=499WpwaAyJmQ9CLT93iGoA

1 Synes om

Efter min mening er CMD overhovedet ikke blevet flyttet eller udskudt på noget tidspunkt; den har ligget på den samme 26. marts siden efteråret.

For et par år siden var jeg selv af den overbevisning, at når man skifter til high NA, vil antallet af retikler falde, da man slipper for såkaldt multipatterning. Antallet af retikler i produktionen er en kritisk parameter for Canatu, da hver retikel også bærer sin egen pellikel. Da jeg lyttede til ASML’s conference calls sidste efterår, begyndte det at komme frem, at det ikke nødvendigvis forholder sig sådan, men at ASML tværtimod ser antallet af lag (layers) stige. Goldman Sachs er tilsyneladende nået frem til samme konklusion.

21 Synes om

Keplers ASML-analytikerkommentar fra marts:

ASML leverede detaljerede præstationsdata for både sine 0,55 NA High-NA og 0,33 NA Low-NA EUV-platforme ved SPIE Advanced Lithography-eventet. Opdateringen indikerer, at risikominimeringen (de-risking) for High-NA-teknologien skrider hurtigere frem, end den gjorde for Low-NA på et tilsvarende stadie: gennemløb (throughput), overlay-præcision og tilgængelighed er enten opnået eller er tydeligvis inden for rækkevidde. Dette styrker tilliden til produktionsstarten i 2027–2028 og reducerer risikoen for forsinkelser i opskaleringen af højvolumenproduktion (HVM) betydeligt. EXE:5200B har behandlet over 500.000 wafere (mod over 300.000 i det seneste kvartal), opnået en hastighed på 175 wafere i timen (+59 % sammenlignet med EXE:5000-hastigheden) og leveret under 0,8 nm matched-machine overlay med over 80 % tilgængelighed (4-ugers gennemsnit).

High-NA forventes at reducere patterning-omkostningerne med 18–24 % for avanceret logik (A14) og 35–37 % for DRAM (0A) sammenlignet med Low-NA multi-patterning, hvilket direkte udfordrer det skeptiske synspunkt om, at High-NA er for dyrt. ASML gentog, at de vil opnå HVM-parathed inden udgangen af 2026 for både logik og DRAM. Vedrørende Low-NA EUV-teknologi skitserede ASML en roadmap over flere generationer mod NXE:4600 High Productivity-platformen med et mål om et gennemløb på over 400 wafere i timen i starten til midten af 2030’erne. I sidste uge hørte vi også om fremskridt mod ca. 1.000 W kildeeffekt (source power), som er det primære middel til yderligere at øge produktiviteten.

Vi forventer, at hver stigning på ~14–18 % i gennemløbet vil føre til en stigning i de gennemsnitlige salgspriser (ASP’er), da kunderne foretrækker at købe produktivitet (flere wafere i timen på det samme fabriksareal) frem for at øge antallet af værktøjer, renrumsstørrelse, overhead og produktionskompleksitet. Da inputomkostningerne ikke bør stige i samme forhold, understøtter dette marginudvidelse gennem produktmix og bedre værdiskabelse. Reuters rapporterede separat i går, at ASML udforsker muligheder for at ekspandere ind på markedet for avanceret pakkemateriel (advanced packaging equipment). Selvom dette ikke er helt nyt, er ræsonnementet klart, da HBM-stabling og chiplet-arkitekturer øger kravene til optik og justeringspræcision. Dette udvider det samlede adresserbare marked (TAM), hvilket konsensus i øjeblikket ikke afspejler. Effekten er ubetydelig på kort sigt, men det tilføjer yderligere optionalitet til EUV-historien.

5 Synes om

Kunne dette endda betyde, at ASML er interesseret i at erhverve Canatus semiconductor-forretning? Vertikal integration kunne være et fornuftigt træk her.

1 Synes om

Jeg har modtaget en del private beskeder om, hvorvidt det er muligt, at ASML køber Canatu. Selv anser jeg dette for usandsynligt og oplister her kort årsagerne:

  • ASML er en producent af litografiudstyr, som altså fremstiller det apparat, der bruges til at belyse wafers. Selvom der står ASML på siden af maskinen, er alle delene i den ikke produceret af ASML. Tag for eksempel Zeiss’ optik. Retiklen, som også går under navnet maske her på forummet, er heller ikke fremstillet af ASML. Pelliclen, som fastgøres til retiklen, kommer også normalt fra andre producenter, hvor ASML ikke er involveret.
  • Hvis ASML ønskede at kontrollere hele økosystemet, burde de efter min mening også erhverve fremstillingsmetoderne til retikler. Hvis ASML havde interesse i at kontrollere hele økosystemet, ville jeg formode, at ASML for længst havde erhvervet disse kompetencer.
  • Hvilket firma kunne så finde på at købe Canatu? Jeg ville selv kigge mod en stor maskshop, der ønsker fulde synergier, maske + pellicle, men jeg tvivler også på dette scenarie.
  • Lad os dog lade en dør stå på klem for, at ASML i fremtiden bliver en serieopkøber (serial acquirer), som kunne samle alle de spredte forretningsområder, men der er endnu ingen tegn på det.
27 Synes om

Det er svært at finde noget negativt i dette for Canatu

Samsung rykker mod anden chipfabrik i Taylor, i takt med at efterspørgslen stiger

Det planlagte Fab 2-anlæg anslås at dække ca. 2,7 millioner kvadratfod, hvilket er samme størrelse som Fab 1-bygningen, der i øjeblikket er under opførelse.

19 Synes om

ASML har indimellem opkøbt virksomheder, men normalt har disse allerede været underleverandører til dem. Det har vel som regel været tilfældet, at de har været nødt til at købe for at sikre kvaliteten og forsyningssikkerheden.

1 Synes om

Det er lige præcis sådan. Tag for eksempel Cymer, som fremstiller lasere i USA og er ejet af ASML; Cymer blev i sin tid opkøbt for at sikre forsyningen af lasere. Det er dog vigtigt at forstå, at en pellicle (pellikkel) ikke påvirker brugen af ASML’s maskiner; de kan lige så godt bruges uden en pellicle, og ASML er ikke kunde hos Canatu. Pelliclens opgave er at beskytte masken mod partikler og er en såkaldt “nice-to-have-feature”. Det er primært FAB’ernes problem, hvis man ikke ønsker at bruge en pellicle, og der opstår tab i udbyttet (yield-tab) som følge heraf. Derfor er dynamikken en smule anderledes.

4 Synes om

Her er Atens kommentarer til Canatus lille kontrakt. :slight_smile:

7 Synes om

En del udstyr. Jeg håber, der kommer noget til Canatu i fremtiden.

3 Synes om

Desværre ser der ikke ud til at være nogen High-NA-enheder inkluderet overhovedet. Samme forsigtige tilgang som TSMC.

Som Tj. Juha Kokkonen nævnte for et par uger siden i resultatoplysningerne, vil Canatu-pellikler også blive brugt i standard EUV.