Om du orkar skrolla upp ett par meddelanden så hittar du en passande länk till Attes välskrivna omfattande analys där svaren finns.
Jag har undersökt ASML-maskinens ljuskälla lite nu när ASML basunerar ut i alla kanaler hur källans effekt (source power) ska höjas till uppemot 1000 watt på 2030-talet. Jag hittade en SEM-bild som avslöjar att värmen som genereras av ASML:s ljuskälla till och med börjar orsaka deformationer i själva masken. Det finns väl en viss ironi i detta, eftersom pellikelns uppgift är att skydda masken, men nu börjar själva masken bli som rostat bröd.
Som en repetition från gårdagens resultatrapport från ASML, här är ASML:s roadmap. Low NA utvecklas kontinuerligt och när man vill ha högre genomströmning (throughput) i maskinen (WpH i grafen), är en faktor att maskinens effekt måste öka.
