Hvis du orker at rulle et par beskeder op, findes der et passende link til Attes velskrevne analyserapport, hvor man kan finde svarene.
Jeg har undersøgt lyskilden i ASML’s maskine lidt nu hvor ASML blæser ud fra alle kanaler, hvordan kildeeffekten kan øges til helt op mod 1000 watt i 2030’erne. Jeg fandt et SEM-billede, der afslører, at varmen genereret af ASML’s lyskilde ligefrem begynder at deformere selve masken. Der er vel en vis ironi i dette, da pelliclens opgave er at beskytte masken, men nu er selve masken ved at blive til toast.
Som en opsummering fra gårsdagens ASML-regnskabsaflæggelse er her ASML’s roadmap. Low NA udvikles løbende, og når man ønsker mere throughput i maskinen (WpH i grafen), er én faktor, at maskinens effekt skal øges.
